Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng DÒNG MFC / MFM MODEL EX-250S , Đại lý chính hãng Kofloc Vietnam
Nhà cung cấp: PitescoVietNam
Hãng sản xuất: Kofloc Vietnam
0372130774
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng DÒNG MFC / MFM MODEL EX-250S , Đại lý chính hãng Kofloc Vietnam
| Mô hình | Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng | Thiết bị đo lưu lượng | ||
| EX-250SC | EX-250SM | |||
| Loại cảm biến | Cảm biến nhiệt | |||
| Loại van | Van điện từ tỷ lệ thường đóng | - | ||
| Khí áp dụng （* 1） | N2 、 Không khí 、 H2 、 He 、 Ar 、 O2 、 CO2 v.v. | |||
| (Các khí không được đề cập cụ thể ở đây phải được hiệu chuẩn cho tương đương N2.) | ||||
| Dải lưu lượng （* 2） | 10SCCM ～ 5SLM | |||
| Kiểm soát （đo） phạm vi | 2 ～ 100% (FS) | |||
| Phản ứng | ≤ 1 giây （trong vòng ± 2% FS） （* 8） | |||
| Độ chính xác （* 3） | ± 1,0% FS | |||
| Độ lặp lại | ± 0,2% FS | |||
| Vận hành chênh lệch áp suất （* 4） | 50 ～ 300kPa （Ar 、 CO2 ： １00kPa ～ 300kPa） | - | ||
| Áp suất tối đa đầu vào | 500kPa （G） | |||
| Sức ép bằng chứng | 980kPa （G） | |||
| Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài （He） | ≤ 1,0 × 10-8Pa ・ m3 / giây | |||
| Nhiệt độ | Nhiệt độ làm việc. | 5 ～ 50 ℃ | ||
| Độ chính xác được đảm bảo tạm thời. | 15 ～ 35 ℃ | |||
| Nhiệt độ lưu trữ cho phép. | -10 ～ 60 ℃ | |||
| Độ ẩm hoạt động cho phép | 10 ～ 90% RH (không đọng sương) | |||
| Vật liệu của phần tiếp xúc khí | SUS316, SUS316L, thép không gỉ từ tính （* 5）, PTFE, FKM | |||
| Kết nối điện | Dsub 9pin KFC Tiêu chuẩn （Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI） | |||
| HR-10A | ||||
| Tín hiệu cài đặt tốc độ dòng chảy | 0 ～ 5VDC (trở kháng đầu vào: khoảng 1M Ω) | - | ||
| hoặc 4 ～ 20mA (trở kháng đầu vào: khoảng 250 Ω) | ||||
| Tín hiệu đầu ra tốc độ dòng chảy | 0 ～ 5VDC (điện trở tải ≧ 10k Ω) | |||
| hoặc 4 ～ 20mA (điện trở tải ≧ 500 Ω) | ||||
| Giao tiếp kỹ thuật số | Cài đặt địa chỉ công tắc xoay RS485 | |||
| Nguồn điện cần thiết (DC) | + 15VDC (± 5%) 100mA, -15VDC （± 5%） 150mA | |||
| hoặc + 24VDC （± 10%） ≤180mA (MFM sẽ là ≤100mA) | ||||
| Doanh （* 6） | 1 / 4F900 （tiêu chuẩn） | |||
| Tư thế gắn kết | Nên cài đặt theo chiều ngang. | |||
| Trọng lượng （* 7） | Xấp xỉ 500g | Xấp xỉ 440g | ||
